The Equipment of Electron Microscopy Laboratory
|
|
FEI Quanta 3D 200i
– Scanning electron microscope, tungsten filament, 200 V – 30 kV.
– Focused ion source FIB (galium).
– Gas injection source GIS (platinum).
– Environment and detectors:
- high vacuum (~10-4 Pa), ETD (SE), BSED (BS);
- low vacuum (10–130 Pa), LFD (SE);
- ESEM (10–2600 Pa), GSED (SE).
Realizaci projektu laboratoře podpořila a nadále pomáhá firma
FEI Czech Republic, viz
tisková zpráva.
|
(c) Ústav fyziky kondenzovaných látek
ElectronMicroscopyLab.shtml
změněn
14.05.2015
