vedoucí výzkumné skupiny
Scopus Author ID: 7006927546
549 49 6244
ohlidal(zavináč)sci.muni.cz
kancelář: pav. 06/01031
Kotlářská 267/2
611 37 Brno
Optika tenkých vrstev a povrchů pevných látek
Výzkumná skupina Ústavu fyziky a technologií plazmatu
Výzkumná skupina Optika tenkých vrstev a povrchů pevných látek ÚFTP je součástí centra CEPLANT. Zabýváme se optickými vlastnostmi systémů tenkých vrstev a povrchů pevných látek spolu s optickou charakterizací těchto systémů. Jde například o vrstvy připravené plazmochemickými metodami, pomocí magnetronového naprašování nebo pomocí vakuového napařování.
Vytváříme a formulujeme nové disperzní a strukturní modely, které pak používáme při optické charakterizaci. Strukturní modely obsahují defekty jako náhodná drsnost rozhraní, nehomogenita vrstev, tloušťková neuniformita, přechodové mezivrstvy a další. Naše optická laboratoř je vybavena spektrofotometry a elipsometry pokrývající širokou spektrální oblast od vzdálené infračervené oblasti až po vakuovou ultrafialovou oblast.
Náš tým
Načítám mapu…
Scopus Author ID: 35231410500
549 49 3357
vohanka(zavináč)physics.muni.cz
Scopus Author ID: 22946971100
549 49 3836
dfranta(zavináč)sci.muni.cz
Scopus Author ID: 57206782608
549 49 3357
jdvorak(zavináč)physics.muni.cz
technik
549 49 3709
pfranta(zavináč)mail.muni.cz
Vybavení
Elipsometrie
Spektrofotometrie
Horiba Jobin Yvon UVISEL
- spektrální rozsah: 0.6 - 6.5 eV
- úhly dopadu v rozmezí 55° - 90°
- X-Y mapovací stolek
Perkin Elmer Lambda 1050+
- spektrální rozsah 0.38-6.6 eV
- měření propustnosti vrstevnatých systémů
- reflexní přístavky pro měření odrazivosti pod téměř kolmým úhlem dopadu (6°)
- měření propustnosti tekutin v kyvetách
- URA detektor pro měření odrazivosti pod různými úhly dopadu (8°-65°)
Woollam IR-VASE
- spektrální rozsah: 300 - 6500 cm-1
- úhly dopadu v rozmezí 25° - 90°
- možnost měření v transmisním módu
Bruker Vertex 80v
- spektrální rozsah 70 - 7000 cm-1
- držák pro měření propustnosti při kolmém dopadu
- reflexní přístavek pro úhel dopadu 7°
- měření ve vakuu
Horiba Jobin Yvon UVISEL2 VUV
- spektrální rozsah: 0.6 - 8.5 eV
- fixní úhel dopadu 70°
- měření ve vakuu
- možnost vyhřívání vzorku
Spolupráce
Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM)
Berlín, Německo
Český metrologický institut
Brno, Česká republika
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik
Jena, Německo
Fakulta strojního inženýrství - Vysoké učení technické v Brně
Brno, Česká republika
Centrum HiLASE, Fyzikální ústav AV ČR
Dolní Břežany, Česká republika
Friedrich-Schiller-Universität
Jena, Německo
Johannes Kepler Universität Linz
Linec, Rakousko
LENA Laboratory for Emerging Nanometrology, Technische Universität Braunschweig
Braunschweig, Německo
Meopta - optika, s.r.o.
Přerov, Česká republika
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Braunschweig, Německo
TTS, s.r.o. - Tenkovrstvý technologický servis
Praha, Česká republika
Varroc Lighting Systems, s.r.o.
Nový Jičín, Česká republika
Studenti a absolventi
Nabízená témata závěrečných prací
- Optická charakterizace tenkých vrstev fluoridů
- Charakterizace náhodně drsných povrchů pomocí optických metod a mikroskopie atomové síly
Aktivní studia
Beáta Hroncová
Absolventi
-
2022
Charakterizace opticky aktivních kapalin (bakalářská práce, Beáta Hroncová)
Určení optických konstant tenkých substrátů v infračervené oblasti (diplomová práce, Jiří Večeře)
Optické vlastnosti tenkých vrstev nestechiometrického nitridu křemíku připravených metodou reaktivního magnetronového naprašování (diplomová práce, Martin Málek)
-
2021
Určování optických konstant a strukturních parametrů tenkých DLC vrstev s příměsí křemíku a kyslíku (bakalářská práce, Pavlína Kührová)
-
2020
Určení šířky spektrální čáry spektrofotometrů pro různé nastavení spektrálního rozlišení (bakalářská práce, Jiří Večeře)
Určování tlouštěk a optických konstant neuinformích polymerních tenkých vrstev (bakalářská práce, Veronika Šklíbová)
-
2019
Optická charakteristika tenkých vrstev nitridu křemíku (bakalářská práce, Martin Málek)
-
2018
Určování optických konstant a tlouštěk tenkých vrstev nitridu křemíku (bakalářská práce, Diana Csontosová)
Optická charakterizace WBC vrstev (bakalářská práce, Lukáš Rychnovský)
-
2013
Optical characterisation of non-uniform thin films (disertační práce, David Nečas)
-
2010
Deposition of hydrocarbon thin films in plasma and study of their properties (disertační práce, Miroslav Valtr)
Publikace
-
Optical characterization of inhomogeneity of polymer-like thin films arising in the initial phase of plasma-enhanced chemical vapor deposition Heliyon, rok: 2024, ročník: 10, vydání: 5, DOI
-
Dispersion models exhibiting natural optical activity: application to tartaric acid solutions Journal of the Optical Society of America B: Optical Physics, rok: 2023, ročník: 40, vydání: 12, DOI
-
Dispersion models exhibiting natural optical activity: theory of the dielectric response of isotropic systems Journal of the Optical Society of America B: Optical Physics, rok: 2023, ročník: 40, vydání: 11, DOI
-
FV0343AR – optický prvek s AR pokrytím pro λ = 343 nm, R < 0,2 %, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 pro pulsy 900 fs Rok: 2023
-
Multi-Wavelength Angle-Resolved Scattering of Randomly Rough Surfaces Based on the Scalar Diffraction Theory Coatings, rok: 2023, ročník: 13, vydání: 11, DOI
-
Optical Characterization of Gadolinium Fluoride Films Using Universal Dispersion Model Coatings, rok: 2023, ročník: 13, vydání: 2, DOI
-
Optical Characterization of Inhomogeneous Thin Films Deposited onto Non-Absorbing Substrates Coatings, rok: 2023, ročník: 13, vydání: 5, DOI
-
Optical method for determining the power spectral density function of randomly rough surfaces by simultaneous processing of spectroscopic reflectometry, variable-angle spectroscopic ellipsometry and angle-resolved scattering data Optik, rok: 2023, ročník: 280, vydání: June, DOI
-
Optical characterization of inhomogeneous thin films with randomly rough boundaries Optics Express, rok: 2022, ročník: 30, vydání: 2, DOI
-
Optical characterization of inhomogeneous thin films with randomly rough boundaries exhibiting wide intervals of spatial frequencies Optics Express, rok: 2022, ročník: 30, vydání: 21, DOI