Fotolitograf Perkin-Elmer 340 HT

– Litografie na desky o průměru 100 mm (4")

– Osvit Hg výbojkou, spektrální čára 340 nm

– S pozitivním rezistem nominální rozlišení 3 mikrometry (lze vyrobit i čáry tlusté 1 mikrometr)

Naprašovačka MRC-603

– Naprašování vrstev metalizace, targety AlCuSi a TiW

– Maximálně 9 desek o průměru 100 mm současně

Rotační lakovka Spin150

– Lakování desek fotorezistem

– Rychlost otáček max 6000 rpm

Horká plotna Stroza

– Zapékání fotorezistu, max teplota 150 °C

– Jedna plotna pro "soft bake" a druhá pro "hard-bake"

Chemické boxy Stroza

– 4 leptací boxy v místnosti pro chemické procesy

– 1 box pro vyvolání v místnosti litografie

Centrifuga

– Centrifuga s fixní rychlostí otáček pro sušení mokrých desek

Plazmatické stripování VT-214

– Stripování metalizace v kyslíkovém plazmatu

Mikroskop Leitz

– Několik mikroskopů pro pozorování kvality vyrobených struktur a součástek

Mapování rezistivity

– Mapování rozložení rezistivity na křemíkových deskách

Mechanický profilometr Veeco Dektak 150

– Měření profilu (topologie) povrchu vzorků

– Měření tlouštěk leptaných neprůhledných vrstev (schodků)

Mřížkový spektrometr Avantes

– Určování tlouštěk průhledných vrstev

Počítač koncentrace částic v čistých prostorách Lighthouse

– Počítač koncentrace částic velikosti od 0,3 do 5 mikrometrů ve vzduchu

Měření R, C, L součástek – ruční hrotové měření

– Rychlé ruční měření základních elektrických parametrů součástek

Elektrická měření součástek – sestava pro hrotové měření

– Sestava pro elektrická měření

– Hrotové měření, hlavičky Suss

– R, C, L hodnoty, Hioki LCRmeter

– V-A charakteristiky, Keithley 2612A

Elektrická měření součástek – sestava pro hrotové měření

– Sestava pro hrotové měření AVT-110 (umístěna mimo čisté prostory)