Od poloviny července mají vědci k dispozici nové zařízení rozšiřující dosavadní diagnostické možnosti při procesu nanášení tenkých vrstev. RFEA (Retarding Field Energy Analyser) umožňuje časově rozlišená měření dopadajících iontů například právě při magnetronovém naprašováni tenkých vrstev.
Výzkumná skupina Depozice tenkých vrstev a nanostruktur má k dispozici nový přístroj rozšiřující dosavadní diagnostické možnosti při procesu nanášení tenkých vrstev. Jedná se o zařízení RFEA (Retarding Field Energy Analyser) od firmy Impedans Plasma Measurement z Irska.
Přístroj slouží k diagnostice depozičních procesů pomocí časově rozlišeného měření toku dopadajících iontů. Podobně jako hmotnostní spektroskopie dokáže získat s vysokou přesností jak energiové rozdělení, tak i celkový tok iontů, ale samotné druhy částic nerozliší. S pomocí dalších zařízení, jako je QCM s předpětím či Langmuirova sonda, nyní vědci dokážou provést komplexní diagnostiku iontů, jejichž vlastnosti jsou klíčové k růstu vysoce kvalitních tenkých vrstev pomocí magnetronového naprašování.
Jak doplňuje Mgr. Peter Klein, Ph.D., „toto nové zařízení přináší nové možnosti v diagnostice plazmatu. Svojí kompaktností a jednoduchostí použití je vhodné pro všechny druhy depozičních zařízení a zkoumaných metod příprav tenkých vrstev včetně HiPIMS.“
Fyziku na Dni Země 2024 v Botanické zahradě prezentoval Ústav fyziky a technologií plazmatu s centrem CEPLANT. Botanická zahrada tuto akci pořádá každoročně. Letošním tématem byla ochrana roslin. Na akci dorazily stovky lidí ať už dospělí nebo děti.
Workshop Heart of Europe je tradičním setkáním vědců zabývajících se tenkými vrstvami. Evropský střed zde prezentuje Technická univerzita ve Vídni, Masarykova univerzita v Brně a Komenského univerzita v Bratislavě. Letos se akce pořádala ve Vídni a účastnila se ji velká skupina vědců z výzkumné skupiny Depozice tenkých vrstev a nanostruktur Ústavu fyziky a technologií plazmatu a centra CEPLANT.
